[1] Lee I, Yoon G H, Park J, et a.l Deve lopment and analysis of the vertical capac itive acce lerometer [ J]. Sensors and Actuators A: Physica,l 2005, 119( 1): 8- 18. [2] Y azdiN, Na ja fiK. An a l-l s ilicon sing le-w aferm icro-g acce lerom eter w ith a com bined surface and bu lk m -i crom ach ining process[ J]. Journa l o fM icroelectromechan ica l System s, 2000, 9( 4): 544- 550. [3] 黄卫东, 彩霞, 徐步陆, 等. 封装对MEM S高G值传 感器性能的影响[ J]. 功能材料与器件学报, 2002, 8( 3): 251- 258. [4] 施芹, 裘安萍, 苏岩, 等. 硅微陀螺仪的机械耦合误 差分析[ J]. 光学精密工程, 2008, 16( 5): 894- 898. [5] 陈杰春, 丁振良, 袁峰, 等. MEMS 惯性测量组合初 始标定方法研究[ J] . 南京理工大学学报(自然科 学版), 2008, 32( 3): 285- 290. 322